產品

多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統是由我團隊成員自主研發，具有自主知識產權的產品。本系統具有低溫無催化生長石墨烯，也可對石墨烯進行缺陷檢測與修復及各向異性刻蝕等功能，也可用于生長其他二維材料。研究成果發表于各類頂級期刊。

壓電陶瓷電機是最近20年發展起來的新技術。使用壓電陶瓷電機的定位產品，結構簡單，尺寸緊湊，可以在數十毫米范圍內實現納米級別的最小步長，從而解決了傳統納米臺行程不足，而微米電動臺分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內研發出能產品化的壓電陶瓷電機線性位移平臺和旋轉臺等超精密位移產品，性能指標達到國際先進水平，填補了此領域的國產產品空白?？蓮V泛應用于半導體芯片、光通訊、生物醫療、電子顯微、先進制造、科學研究等領域。

掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導顯微鏡，掃描電化學顯微鏡等）的統稱，是國際上近年發展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工、自動控制技術、數字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。

探針臺和低溫系統專注于為半導體領域、微納米科學領域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供先進的半導體及微納米科學儀器，為祖國微納米科學事業的騰飛貢獻一份綿薄之力！

提供各類高品質的真空零部件和模塊