壓電直線納米位移臺MF30-40A
壓電直線納米位移臺MF30-40A，大行程直線位移臺，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時還兼具低溫真空等應用環境。
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| 尺寸參數 | ||
| 外形尺寸（長*寬*高） | 53.2*30*10.5 | mm |
| 臺面平面度 | 10 | ?μm |
| 總重量 | 60 | g |
| 材料 | ||
| 機身 | 鋁合金 | / |
| 驅動 | PZT壓電陶瓷 | / |
| 驅動機構 | 鈹青銅 | / |
| 導線 | 屏蔽線，銅線 | / |
| 粗調模式 | ||
| 運動范圍 | ±20 | mm |
| 運動步進 | 50~2000 | nm |
| 速度上限 | 3 | mm/s |
| 細調模式 | ||
| 細調步進 | 0.05 | nm |
| 細調范圍 | 3000 | nm |
| 閉環運動 | ||
| 分辨率 | 20 | nm |
| 負載 | ||
| 垂直運動方向負載 | 20 | N |
| 沿運動方向負載 | 4 | N |
| 操作環境 | ||
| 操作溫度 | -20~80 | ℃ |
| 是否適用真空 | 是 | / |
| 其它 | ||
| 控制類型 | 開環/閉環 | / |
| 運動分辨率 | 0.05 | nm |
| 驅動電壓上限 | 125 | V |
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