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          壓電三軸納米探針臺

          壓電三軸納米探針臺

          三軸納米探針臺產品圖

          壓電三軸納米探針臺實現了三維空間上的準確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

          壓電三軸納米探針臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

          三軸納米探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

          壓電三軸納米探針臺應用案例:

          三軸納米探針臺應用案例圖

          通過壓電納米位移臺的納米精度定位,兩個探針通過與樣品接觸,完成在SEM里實現對二維材料的電學測量。

          同樣的,通過壓電納米位移臺也可以在更多領域完成高精度實驗,例如可應用于納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。

          同時產品可以適配市面上絕大多數的SEM,例如:日本電子,日立,FEI,TESCAN等。

          三軸納米探針臺尺寸圖

          壓電三軸納米探針臺尺寸參數
          探針臺外形尺寸(長*寬*高) 107.0*75.6*43.3 mm
          三軸外形尺寸(長*寬*高) 48.6*33.2*38.6 mm
          樣品臺面平面度 10 ?μm
          探針臺總重量 225 g
          運動參數
          三軸X行程 ±10 mm
          三軸Y行程 ±10 mm
          三軸Z行程 15.7 mm
          運動分辨率 0.05 nm

          以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的壓電三軸納米探針臺的介紹,了解更多直接咨詢:13736813534

           

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